什么是微机电系统？

微机电系统，集微型传感器、执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型系统，是一个独立、可定制的智能系统，主要由传感器、作动器和微能源三大部分组成，具有微型化、批量生产、高度集成、跨多学科、便捷扩展等特点。

微机电系统是依据与之结合的领域或它利用到的媒介不同，可以分为传感、生物、光学、射频等微电机复合系统。

• 传感 MEMS：是微机电机械利用敏感元件（如电阻、电容等）感知转换电信号的系统。其中包括面阵触觉传感器、谐振力敏感传感器、微型加速度传感器、真空微电子传感器等。
• 生物 MEMS：用于化学或生物领域中，进行分析、检测的微型仪器。它是由微型驱动泵、微控制阀、通道网络、样品处理器、混合池、计量、增扩器、反应器、分离器以及检测器等元器件集成的。
• 光学 MEMS：是与光学相结合，开发出的微光机电系统 (MOEMS) ，它由综合微电子、微机械、光电子技术等基础技术，开发新型光器件集成，能够带动更多新概念产品的开发。
• 射频 MEMS：依据技术传统分为两种：固定的 MEMS 器件（包括微机械加工传输线、滤波器和耦合器等基础配件）和可动的 MEMS 器件（包括开关、接收机、可变电容等器件）；依据技术层面分为基本器件层面、组件层面和应用系统层面三种。

微机电系统主要应用在生物医疗、汽车、运动健身、消费电子产品、航空航天、信息通信等多个领域。例如：

• 医疗方面：MEMS 可以无创检测胎心、临床化验分析、参与微型手术、制作仿生器官等，用途广泛且数据直观；
• 汽车方面：MEMS 可应用在压力传感器、加速度计、微陀螺仪等汽车部件中；
• 运动健身方面：MEMS 能够对人体进行 3D 运动检测，专业人员获取结果后进行分析，可以及时改进训练计划，帮助运动员提升成绩。